工作原理

干式螺桿真空泵利用高速旋轉(zhuǎn)的一對螺桿，將吸入的氣體排出泵外，從而形成真空。螺桿端面型線是由近似阿基米德曲線、擺線、和圓弧曲線構(gòu)成，螺桿與螺桿之間，

螺桿與泵腔間始終保持設(shè)定的間隙，避免任何金屬與金屬間的接觸，電機(jī)連接方式是直連或皮帶連接。為了便于安裝與拆卸，齒輪，聯(lián)軸器均采用脹緊套連接.

結(jié)構(gòu)螺桿轉(zhuǎn)子螺桿轉(zhuǎn)子是螺桿真空泵的核心部件，設(shè)計(jì)難度大，材質(zhì)要求高，加工設(shè)備要精密。本公司螺桿轉(zhuǎn)子材質(zhì)為合金球磨鑄鐵，加工設(shè)備為專用的高精度螺桿轉(zhuǎn)子數(shù)控銑。

同步齒輪

同步齒輪是干式螺桿真空泵非常重要的部件，齒輪表面經(jīng)過嚴(yán)格熱處理，并用高精度的磨齒機(jī)磨光以減少運(yùn)行時的噪聲。

軸承

固定端（排氣口）是向心推力球軸承，伸縮端（進(jìn)氣口）是高負(fù)載能力的滾珠軸承。這些軸承用于高速，高負(fù)載的運(yùn)行，以保證齒輪之間以及轉(zhuǎn)子之間有精確的間隙。

結(jié)構(gòu)材料

技術(shù)參數(shù)

1、上表中的油量僅供參考，具體油量以實(shí)際添加為準(zhǔn)。請注意含氟和礦物質(zhì)的油也是可用的。

2、以上所列的冷卻水量是在水溫20℃基礎(chǔ)上的。當(dāng)使用后置冷卻裝置時冷卻水量是要變化的。

管路圖

螺桿真空泵泵體和前后蓋有水冷夾套，運(yùn)行時需要通水冷卻，水冷方式有單程水冷和循環(huán)水冷兩種形式。

單程水冷

單程水冷即冷卻水保持一次性通過，不經(jīng)過循環(huán)使用，冷卻水進(jìn)水管路需裝有流量開關(guān)和流量計(jì)，出水管路需裝溫度傳感器或溫度開關(guān)，檢測冷卻水流量和出水溫

度。

空氣-水散熱器

這種裝置是一種風(fēng)冷裝置，并且冷卻水可以循環(huán)利用，離心泵是冷卻水在真空泵到風(fēng)扇散熱器之間循環(huán)。流量指示器、流量開關(guān)安裝在冷卻水供應(yīng)管道處，溫度計(jì)（或

溫控開關(guān)）安裝在冷卻水的排出管路上，一間空冷卻水流量和冷卻水溫度。

                                                            圖2 

吹掃

冷卻吹掃

冷卻吹掃用于冷卻泵體內(nèi)部和螺桿轉(zhuǎn)子。泵運(yùn)轉(zhuǎn)時，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)使得被抽氣體進(jìn)入泵腔并被壓縮到排氣端，由于熱壓縮，氣體溫度會迅速升高，為了防止熱量積累，使

泵被損壞，這些熱量必須立即排除。

通常使用大氣中的空氣吹掃，當(dāng)被抽工藝氣體不適合用空氣吹掃時，就要采用其他的冷卻介質(zhì)比如氮?dú)?，清潔的干燥空氣等。對于?biāo)準(zhǔn)的泵，在靠近泵腔排氣側(cè)則裝

有空氣過濾器。

注意：

◆吹掃壓力：進(jìn)口壓力低于150Torr 時，吹掃壓力為大氣壓，進(jìn)口壓力高于150Torr時，吹掃壓力不得低于0.5 ㎏/㎝ 2g

◆氣體流量：冷卻吹掃的流量(m3/h),取決于進(jìn)氣口壓力。

密封處吹掃（氣障）

根據(jù)應(yīng)用需要，螺桿真空泵可以選擇密封處吹掃，如果您的系統(tǒng)被指定需要密封處吹掃，那是為了在泵的前端蓋和/或后端蓋與泵腔有一個壓力差，從而確保前端蓋

處的潤滑油和/或后端蓋處的潤滑脂不受流程介質(zhì)污染，吹掃的氣體應(yīng)當(dāng)不會影響潤滑油、潤滑脂和流程介質(zhì)，如：氮?dú)猓瑲鍤獾榷栊詺怏w。

驅(qū)動端的前蓋和非驅(qū)動端端蓋各有兩個吹掃預(yù)留口，吹掃的氣體可以來自一個氣源。密封吹掃壓力應(yīng)低于0.5kg/㎡ g（7.11psig），機(jī)械密封的漏率應(yīng)低于3cc/hr（5.3

×10-6CFM）極限承受壓力為3Kg/㎝ 2g(42.7psig).如不是絕對需要，我們不建議在非驅(qū)動端處進(jìn)行密封吹掃，非驅(qū)動端密封吹掃會增加氣體流量，因此會提高入口壓力，如果您需要密封吹洗請咨詢廠家以獲得進(jìn)一步的幫助。

注意：

◆密封吹洗壓力：最大值0.5 ㎏/㎝ 2（7.11psig）。

◆密封吹掃氣體流量（L/min）

開機(jī)/停機(jī)（清洗）吹掃

開機(jī)/停機(jī)（清洗）吹掃是為了在泵運(yùn)行前或運(yùn)行后排出泵內(nèi)殘留的工藝氣體或一些不兼容的物質(zhì)，如水汽，大氣等。開機(jī)/停機(jī)（清洗）吹掃采用的氣體必須是不

影響被抽介質(zhì)的氣體或惰性氣體，如氮?dú)?、氬氣。?dāng)被抽氣體為腐蝕性氣體，毒性氣體或者是樹脂類的聚合物時，啟動/停止（清洗）吹掃則更為重要。

開機(jī)（清洗）吹掃：關(guān)閉進(jìn)氣口主閥門，啟動泵并向泵內(nèi)通入吹掃氣體20-30 分鐘，以清除泵內(nèi)殘留氣體，在開機(jī)（清洗）吹掃結(jié)束時，進(jìn)氣口的隔離主閥必須打

開，然后開始抽工藝氣體。

停機(jī)（清洗）吹掃：在工藝抽氣工作結(jié)束時，關(guān)閉進(jìn)氣主閥，在泵連續(xù)運(yùn)行情況下，向泵內(nèi)通入吹掃氣體20-30 分鐘，以清除泵內(nèi)的殘留工藝氣體，清洗完畢后應(yīng)立

即關(guān)閉電機(jī)而此時主閥門仍然必須保持關(guān)閉狀態(tài)。

注意：

1、開機(jī)/停機(jī)（清洗）吹洗都要持續(xù)20-30 分鐘，這種清洗工作無論是在開始工藝運(yùn)行以前和工藝運(yùn)行結(jié)束以后都要將主閥關(guān)閉。

2、密封吹洗壓力：最大值0.5/㎝ 2g（7.11psig）。

3、流量L/min